半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)過程對車間有明確的潔凈要求，為了滿足生產(chǎn)工藝需要、保證產(chǎn)品質(zhì)量、安全生產(chǎn)，必須對潔凈室的環(huán)境、人員、物料、設(shè)備、生產(chǎn)過程等進行控制。

1.無塵車間管理的目的

半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)過程對車間有明確的潔凈要求，為了滿足生產(chǎn)工藝需要、保證產(chǎn)品質(zhì)量、安全生產(chǎn)，必須對潔凈室的環(huán)境、人員、物料、設(shè)備、生產(chǎn)過程等進行控制。

2.管理的原則

2.1 進入潔凈室的管理，包括對潔凈室工作人員進入、物料進入、各類設(shè)備的搬入以及相關(guān)的設(shè)備、管線的維護管理，應(yīng)做到不得將微粒、微生物帶入潔凈室.

2.2 操作管理技術(shù)，對潔凈室內(nèi)人員用潔凈工作服的制作、穿著和清洗;操作人員的移動和動作;室內(nèi)設(shè)備及裝修材料的選擇和清掃、滅茵等，盡可能地減少、防止?jié)崈羰覂?nèi)塵粒、微生物的產(chǎn)生、滯留、繁殖等。

2.3 嚴格各類設(shè)備、設(shè)施的維護管理，制定相應(yīng)的操作規(guī)程，保證各類設(shè)備、設(shè)施按要求正常運轉(zhuǎn)，包括凈化空調(diào)系統(tǒng)、各類水氣電系統(tǒng)、生產(chǎn)工藝設(shè)備和工器具(工裝夾具)等。以確保產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和空氣潔凈度等級。

2.4 清掃、滅菌管理，對潔凈室內(nèi)的各類設(shè)備、設(shè)施的清掃、滅茵以及方法、周期和檢查作明確的規(guī)定，防止、捎除潔凈室內(nèi)塵粒、微生物的產(chǎn)生、滯留、繁殖。

2.5 潔凈室環(huán)境控制的內(nèi)容包括：空氣凈化、潔凈建筑、與產(chǎn)品直接接觸的水或氣體或化學(xué)品和生產(chǎn)設(shè)備、工器具等的污染物控制以及微振動、噪聲、靜電的控制、防止等。